新型多通道声表面波气体传感器研究

多通道声表面波气体传感器由压电基片、叉指换能器、振荡电路和化学薄膜构成。一个通道用于环境补偿，其余通道贴附不同薄膜用于测量。薄膜吸附气体后引起器件谐振频率变化，由此可检测多种气体的浓度。目前国内外通常采用双通道传感器，只能检测单一气体。为同时检测多种气体，本项目研制多通道声表面波气体传感器。其关键问题是（1）减少通道间的串扰。为此拟研究多通道声表面波与界面相互作用理论，改善器件设计。研究叉指换能器加权方法，提高器件的频率特性。（2）在多通道上选取不同化学膜。按照晶体种类和切向选取不同化学膜，用以对不同种类的气体进行定量检测。研究薄膜厚度及沿声场方向的长度与器件的频率特性、检测灵敏度和响应时间的关系，确定薄膜最佳参数。该传感器灵敏度高、稳定性好、成本低、集成度高、适于现场检测和远距离传输，可应用于环境保护、安全监测、化学战剂检测、临床分析等多种民用、军用领域。经科技查新，本项研究具有首创性。