蓝光功能薄膜材料的低温等离子体制备和研究
基本信息
批准号：10575039
项目类别：面上项目
资助金额：20.00
负责人：陈俊芳
学科分类：
依托单位：华南师范大学
批准年份：2005
结题年份：2007
起止时间：2006-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴先球,符斯列,孙番典,叶穗红,蒙高庆,向鹏飞,李赟,张茂平
关键词：
氮化镓外延生长低温等离子体技术多层功能薄膜
结项摘要
半导体材料的发光多色化和高亮度化是光电子材料和器件研究中的前沿课题。直接宽带隙GaN材料具有制备纯蓝光器件所要求的光电特性。其发射的纯蓝光与红、绿光构成白光的三基色。GaN基LED具有高亮度、低能耗、高寿命的特点。由于MOCVD和LPE技术生长GaN基材的生长温度高达1050度左右，从而限制了这些技术的应用。为了解决沉积温度高的问题，本课题组采用微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积（E
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
DOI：10.7498/aps.67.20171903
发表时间：2018
2
涡度相关技术及其在陆地生态系统通量研究中的应用
涡度相关技术及其在陆地生态系统通量研究中的应用
DOI：10.17521/cjpe.2019.0351
发表时间：2020
3
硬件木马:关键问题研究进展及新动向
硬件木马:关键问题研究进展及新动向
DOI：
发表时间：2018
4
端壁抽吸控制下攻角对压气机叶栅叶尖 泄漏流动的影响
端壁抽吸控制下攻角对压气机叶栅叶尖 泄漏流动的影响
DOI：
发表时间：2020
5
基于公众情感倾向的主题公园评价研究——以哈尔滨市伏尔加庄园为例
基于公众情感倾向的主题公园评价研究——以哈尔滨市伏尔加庄园为例
DOI：
发表时间：2022
陈俊芳的其他基金
批准号：70572103
批准年份：2005
资助金额：14.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
发蓝光的稀土掺杂氧化物薄膜的低温制备和发光特性
批准号：50472079
批准年份：2004
负责人：郝建华
学科分类：E0207
资助金额：25.00
项目类别：面上项目
2
微波ECR等离子体低温CVD制备薄膜材料方法的研究
批准号：58770106
批准年份：1987
负责人：甄汉生
学科分类：E0206
资助金额：3.50
项目类别：面上项目
3
低温等离子体辅助MOCVD技术制备AlInN薄膜材料的生长及掺杂特性研究
批准号：51072101
批准年份：2010
负责人：计峰
学科分类：E0207
资助金额：38.00
项目类别：面上项目
4
超疏水型非晶碳薄膜的低温等离子体制备与性能研究
批准号：50502001
批准年份：2005
负责人：宋雪梅
学科分类：E0203
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目