蓝光功能薄膜材料的低温等离子体制备和研究
基本信息
批准号：10575039
项目类别：面上项目
资助金额：20.00
负责人：陈俊芳
学科分类：
依托单位：华南师范大学
批准年份：2005
结题年份：2007
起止时间：2006-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴先球,符斯列,孙番典,叶穗红,蒙高庆,向鹏飞,李赟,张茂平
关键词：
氮化镓外延生长低温等离子体技术多层功能薄膜
结项摘要
半导体材料的发光多色化和高亮度化是光电子材料和器件研究中的前沿课题。直接宽带隙GaN材料具有制备纯蓝光器件所要求的光电特性。其发射的纯蓝光与红、绿光构成白光的三基色。GaN基LED具有高亮度、低能耗、高寿命的特点。由于MOCVD和LPE技术生长GaN基材的生长温度高达1050度左右，从而限制了这些技术的应用。为了解决沉积温度高的问题，本课题组采用微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积（E
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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