氧化锌(ZnO)具有很高的激子结合能(60meV)和很低的声子能量(最大约为437cm-1),是优良的光学频率上转换光致发光基质材料。本项研究拟采用氧化镁、蓝宝石等材料作衬底,应用磁控溅射技术制备厚度在400-600nm的平面波导结构膜,研究成膜条件对波导膜的光学性质的影响,再应用离子注入技术将能量为300-500KeV的Ho3+,Tm3+,Er3+,Yb3+等稀土离子掺杂到波导膜中,控制注入剂量,使掺杂的离子峰值浓度达到1%-3%,应用棱镜耦合技术将红外线耦合进波导膜中,实现稀土离子掺杂的ZnO薄膜波导结构中频率上转换光致发光。应用RBS技术研究注入离子在波导膜中的射程分布,应用分光光度计测量波导膜中掺杂离子的发光特性,研究掺杂离子的离子种类、注入剂量、射程分布及退火等对发光特性的影响,探讨制备稀土掺杂的具有高发光效率的频率上转换光致发光的ZnO波导薄膜的优化制备条件,为应用奠定基础。
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数据更新时间:2023-05-31
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