稀土Er/Yb共掺杂ZnO薄膜光波导的制备新方法研究

开展氧化锌基光电子器件研究，对发展新型光电子材料和器件研究具有重要意义。本申请提出开展结合离子注入技术、利用射频磁控溅射和等离子体增强化学气相沉积两种成膜方法制备稀土Er/Yb共掺杂ZnO薄膜光波导的新方法研究。通过对稀土掺杂ZnO薄膜的微观结构、表面物理特性、光学特性等进行深入和细致研究，探索制备新型ZnO基光电子材料。基于计算材料学、光波导放大器、离子注入等领域的相关理论和计算模拟软件对Er/Yb共掺杂ZnO薄膜光波导进行理论分析与计算模拟，提出相应理论模型，并进行Er/Yb共掺杂ZnO薄膜光波导放大器的探索性研究。这些理论和实验探索为深入研究ZnO薄膜的晶体生长和稀土掺杂机理、拓宽ZnO薄膜应用领域、试制新型ZnO基光电器件等方面具有重要意义。