沉积成膜过程中的粒子输运特性研究

研究等离子体成膜的原子分子过程。从微观粒子碰撞入手，分析电子、离子、原子及分子的输运过程，建立输运模型。从物质流向出发研究薄膜纯化、生长速率提高及工艺条件改进等的机理及措施。物质输运是薄膜组份和生长速率的关键，本研究不仅能揭示成膜过程的本质，而且对提高各类薄膜的质量和新型成膜设备的研制均有很大的意义。