微波大功率GaAs PIN二极管器件模型及关键工艺研究

GaAs PIN二极管作为一种新型有源器件，在超高频大功率微波控制电路中具有明显的竞争优势。但由于GaAs PIN二极管特性具有工艺依赖性且其高频大功率行为特征仍在研究之中，因此微波电路仿真和器件提参软件均未提供器件非线性模型。我国对GaAs PIN二极管材料及工艺的研究开展也较少。以上因素严重阻碍了GaAs PIN二极管在我国微波控制电路中的应用。为此，本项目将对GaAs PIN二极管器件模型及关键工艺进行深入研究。本项目将提出适合超高频大功率条件应用的GaAs PIN二极管器件新结构；建立可以完整、准确表征GaAs PIN二极管行为特征的新型器件模型；建立与常用EDA软件兼容的实用化器件模型；对制约GaAs PIN二极管性能的关键工艺进行专项研究，最终制成适用于毫米波大功率控制电路的GaAs PIN二极管。提升GaAs PIN二极管的实用性，为其在微波毫米波控制电路中的应用奠定基础。