超精密加工系统中的理论与关键技术基础
基本信息
结项摘要
本项目包括起精密环境保障技术、高刚度精密宽气轴承和超精密加工表面微观形貌无接触在线检测与表层质量控制技术三个子课题。课题不仅在一些理论研究上，突破传统思维，进行有学术价值和实际意义的探索，如新型锯齿形多增式气体动静压混合轴承、无限刚度轴承等，而且把理论研究用于应用基础中，在一些关键技术上取得优异成绩，如同轴式激光干涉轮廓测试技术达到世界领先水平，超精密恒温油淋油淋浇系统、超精密空气主轴、宽范围隧道扫描显微镜等达到世界先进水平。通过项目的进行培养了博士后一名，博士研究生十四名，硕士研究生九名，发表论文79篇，获国家发明奖一项，部级科技进步奖三项，获国家专利六项。
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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