超光滑表面精密抛光理论与关键技术的研究
基本信息
结项摘要
本研究结合激光陀螺光学基片的超光滑表面及钆综石梅石（GGG）、钇铝石梅石（YAG）进行了抛光理论和关健技术的研究，主要研究内容为：⑴抛光过程中抛光温度和作用力的测量及其对抛光精度的影响；⑵控制力抛光；⑶散粒磨料抛光运动轨迹的计算机模拟；0⑷达到超光无损伤超光滑表面的关健技术。通过系统研究，取得以下研究成果；⑴建立了沥青抛光盘表面温度的分布规律；⑵研制了抛光模与工件盘间的作用力测量装置，建立了切问力与振动的变化规律；⑶利用的研究的“控制力抛光法”可有效地提高抛光精度，⑷利用计算机建立了抛光运动参数与抛光网纹间关系；⑸通过合理选择运动参数可有效获得Ra＜0.5nm、光圈N＜0.5的无损伤超光滑表面，本研究成果已经应用。
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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