等离子体枪的物理实验研究

高能量密度等离子体枪是将核聚变等离子体的技术应用到材料表面处理的一项研究工作，是由我们首先提出的一种新方法、新技术。等离子体参数为：密度10（14）-10（16）cm（-3）；温度10（5）-10（60）k；平均速度10-100km/s；脉冲宽度10-100ms。系统地研究等离子体行为及高能量密度等离子体与材料表面的相互作用为将该技术用于材料表面制膜和改性奠定较好基础。脉冲等离子体作用于样品时，可在材料表面产生沉积、注入、屏火等效应。我们成功地在单晶硅和45号钢等材料表面在室温条件下生成了类金刚石、氮化钛、氮碳化钛、氮化铝薄膜。用此法形成的膜与基底材料在界面处形成了合金或金属间化合物的缘帮。共发表论文9篇。