高频薄膜电感中高磁导率材料的磁各向异性

本项目以研究高频薄膜电感材料中的高频磁导率机制为目的，以控制高截止频率和高磁导率的磁各向异性为关键展开研究。拟用射频溅射技术制备高饱和磁化强度的软磁金属、铁氧体薄膜及其复合膜。结合结构和形貌观测，掌握不同厚度和晶粒尺寸的软磁薄膜制备工艺。通过宏观和微观磁性测量，掌握薄膜的内禀和技术磁性，尤其是磁化强度分布的特点和磁各向异性特征。利用转动磁场法获得样品的磁化强度随空间角度的变化，利用矢量网络分析仪获得薄膜材料的截止频率和高频磁导率。结合以上数据，获得薄膜样品的精确有效磁各向异性，系统分析薄膜样品高截止频率和高频磁导率的机制。该研究不仅可以获得高频下的高磁导率软磁薄膜，而且将为高频薄膜电感的制备提供理论和技术依据。