相移滤波用于超微细图形成像光刻原理研究

新型高分辨力、大焦深、低邻近效应相移滤波的基本理论研究；结合离轴照明研究影响成像质量的波前工程新理论；相移滤波器的设计与激光直写制作研究；研究相移滤波器制作误差对分辨力的影响。本项研究的实施将为我国千兆位集成电路、微机械和微光学的发展及超微细图形光刻领域的研究打下理论和实践基础，具有重要的科学意义和广泛的应用价值。