电子聚合物微集成NOx气体传感器阵列技术研究

本项目通过对酞菁络合物及聚苯胺等电子聚合物气敏材料体系的分子设计及合成技术的研究，利用超薄膜技术，研制出满足要求的聚合物超分子敏感薄膜；通过对传感器阵列结构的设计及优化，结合微机械加工技术与超薄膜制备技术兼容性研究，以及模糊神经网络分析的研究，通过调整相关工艺参数，寻找到最佳工艺条件，研制4×4微集成气体传感器阵列，用于检测0~100ppM的氧化氮(NOx)等混合气体的浓度。