集成传感器阵列及模式识别检测气体的研究

溶胶－凝胶法制备了新型的敏感薄膜材料V2O5、WO3 H2-X（NH4）xV12-yMoyO31+8·nH2O等，对其结构进行了分析，研究了其材料的气、湿敏特性。使用了PECVD技术，首先研制出PbTiO3和聚苯胺材料，并发现对H2S的敏感特性。用Cu、Ag、Pd等掺杂剂对SnO2的表面进行修饰，制备了具有优良特性的H2S敏感元件。利用平面工艺技术研制了集成传感器阵列，设计和制作计算机测试系统，初步地实现对气体的识别。其中探索新型敏感材料以及敏感薄膜的表面修饰及其H2S、NH3薄膜气体传感器的研究成果达到国际先进水平。在该项目的完成过程中，又申请了一个国际合作项目一复合钒钼酸盐为基体薄膜的制备及其物理、化学、气敏和湿敏特性研究，与俄罗斯建立了科学合作和交流关系。