提高场发射高分辨电子显微镜图像分辨率的研究

本项目的目标是结合当前许多功能材料尺寸微小且未必完整的现状，建立发展一种达到原子分辨率、且有效可靠的研究材料结构及微结构的技术。为此在前一个基金项目研究成果的基础上，用解卷处理技术，（1）以III-V族半导体为主要对象，研究晶体缺陷中的原子排布，（2）以组成原子轻重悬殊的完整晶体材料为对象，研究从解卷像上揭示间距不同、轻重不同原子的规律，（3）研究把处理后的显微像分辨率提高至电镜信息分辨极限之上的可行性。研究内容的核心是阐明提高场发射电镜图像分辨率的规律和极限，明确借助解卷技术，能在哪些情况下，在还原显微像上被畸变的结构信息的同时，能揭示出更高分辨率的结构细节。研究结果的意义不仅是提供一些重要材料的晶体结构和微结构资料，更重要的意义在于发展新的电子显微学分析技术，从而使用价格相对低廉得多的中等电压场发射电镜，能得到在分辨率上相当于价格很昂贵的超高压高分辨电镜给出的结构图像。