硅微超声换能器的研究
基本信息
批准号：10474114
项目类别：面上项目
资助金额：32.00
负责人：乔东海
学科分类：
依托单位：中国科学院声学研究所
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：黄歆,李俊红,解述,樊文,邓英,李剑成,郝震宏
关键词：
超声微机电系统超声换能器
结项摘要
本项目开展基于MEMS技术的微超声换能器的理论和实验研究。从压电体激发和振动的基本理论出发，对微超声换能器的振动和机电耦合作出理论分析。提出和研究基于MEMS技术下的微超声换能器的可行性结构，并建立集总参数的等效电路模型进行分析，在实验上进行工艺制作和性能测试，将理论分析、数值模拟和测试结果进行对比分析。通过本项目的研究，不但能对微超声换能器的物理规律有更深入的认识，而且对微超声换能器设计和制备等
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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