基于MEMS薄膜体声波谐振器的微波SOC振荡器研究
基本信息
批准号：90607012
项目类别：重大研究计划
资助金额：28.00
负责人：乔东海
学科分类：
依托单位：中国科学院声学研究所
批准年份：2006
结题年份：2008
起止时间：2006-07-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：汤亮,宫铭举,金国华,邓英,樊文,李强,邓越,郝震宏
关键词：
FBAR双工滤波器芯片MEMS薄膜体声波谐振器微波SOC振荡器
结项摘要
以MEMS薄膜体声波谐振器为对象，研究能进行SOC集成的微型低功耗微波振荡器，并探讨MEMS薄膜体声波谐振器在射频双工滤波器和高灵敏度微质量传感器中的应用。研究MEMS薄膜体声波谐振器的机理、设计和工艺制作以及提高其性能的路径和方法，包括声在多层固体介质中的能陷效应对MEMS薄膜体声波谐振器特性的影响；提高MEMS薄膜体声波谐振器谐振频率稳定性的方法；减小高频下MEMS薄膜体声波谐振器杂散电容的方
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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