本项目提出一种可控"势能阱"实现永磁转子自稳悬浮支撑、利用静电原理实现转子恒高速转动、位置检测及加矩稳定的新概念MEMS微陀螺。主要研究可控"势能阱" 实现高磁能积永磁转子自稳悬浮的原理和实现方法;转子恒高速旋转静电驱动技术;微电容检测技术;静电加矩稳定控制技术;电磁屏蔽技术;含永磁体的三维微加工及真空封装工艺;微陀螺机电动力学系统建模仿真技术。悬浮转子微陀螺是传统陀螺技术和MEMS技术发展的必然
{{i.achievement_title}}
数据更新时间:2023-05-31
基于ESO的DGVSCMG双框架伺服系统不匹配 扰动抑制
基于图卷积网络的归纳式微博谣言检测新方法
极地微藻对极端环境的适应机制研究进展
双粗糙表面磨削过程微凸体曲率半径的影响分析
电沉积增材制造微镍柱的工艺研究
强陀螺效应磁悬浮转子的自平衡控制算法及收敛性分析
近声场悬浮式球转子陀螺的驱动与姿态感知机理研究
扁平转子小型磁悬浮控制力矩陀螺磁轴承控制方法研究
基于气流转子的六自由度MEMS惯性传感器研究