毫米尺度惯性级可控“势能阱”永磁转子自稳悬浮新概念MEMS微陀螺的研究
基本信息
批准号：60402003
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：26.00
负责人：张卫平
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王森章,刘武,彭松林,苏宇峰,崔峰,杨华峰,黄得志
关键词：
电磁屏蔽永磁转子MEMS微陀螺可控"势能阱"静电
结项摘要
本项目提出一种可控"势能阱"实现永磁转子自稳悬浮支撑、利用静电原理实现转子恒高速转动、位置检测及加矩稳定的新概念MEMS微陀螺。主要研究可控"势能阱" 实现高磁能积永磁转子自稳悬浮的原理和实现方法；转子恒高速旋转静电驱动技术；微电容检测技术；静电加矩稳定控制技术；电磁屏蔽技术；含永磁体的三维微加工及真空封装工艺；微陀螺机电动力学系统建模仿真技术。悬浮转子微陀螺是传统陀螺技术和MEMS技术发展的必然
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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