纳米级应力传感器方法在测试MEMS微纳器件及纳米尺度应力和变形中的应用研究

项目首先提出了一个新概念研究: 用纳米级应力传感器测试MEMS微结构器件材料和纳米材料微纳米尺度的应力和变形。主要研究纳米型应力传感器测试微纳米尺度应力的技术原理和方法，测试应力的大小、分布和演化；研究纳米应力传感器标定技术与方法。研究利用小波变换方法分析识别光谱应力特征信号的方法；用价电子体系的多体Schrodinger方程研究跃迁能谱与外界作用力的关系。本项目研究新的纳米应力传感技术测试方法，具有无损和实时的特点，对于了解微结构和纳米材料微纳米尺度的变形和应力分布和演化规律提供了一个方便的方法，可以增进对微宏观结构应力分布和强度以及材料的强度机理的认识，因而对于实验固体力学科学的发展和材料科学微观形变机理的认知都具有重要的科学意义和工程应用背景。