测试氧化生长应力的纳米级应力传感器方法研究
基本信息
批准号：10472095
项目类别：面上项目
资助金额：8.00
负责人：王峰会
学科分类：
依托单位：西北工业大学
批准年份：2004
结题年份：2005
起止时间：2005-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：苟文选,何泽夏,王沪毅,张勇,耿晓亮,王勇军
关键词：
试验测试方法。纳米光学应力传感器热生长残余应力
结项摘要
本项目首先提出了一个新概念研究: 用纳米级应力传感器测试涂层、薄膜和MEMS等材料及结构的热致残余应力。主要研究纳米型应力传感器测试热致残余应力的技术原理和方法，测试残余应力的大小、分布和演化。并研究利用小波变换方法分析识别光谱特征信号；用价电子体系的多体Schrodinger方程研究跃迁能谱与外界作用力的关系。对力学模型进行有限元计算并和实验结果进行对比。本项目研究新的应力传感技术测试方法，具有
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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