MEMS微环路热管阵列研究

提出一种带有温敏元件阵列的MEMS微环路热管阵列，其结构新颖，具有流质环路工作的特点。从微热管导热机理出发，利用有限元方法，对这种微热管阵列温度场分布进行模拟仿真，进而实现其结构的优化设计；结合实验确定微环路热管的启动条件。在此基础上，将用MEMS技术完成这种微热管阵列的研制。它与集成芯片间具有良好的热匹配性，即可用于高功率密度集成芯片冷却，也可为多芯片模组技术解决芯片间的散热问题，还可用于精密仪器仪表的散热与微环境热控，以及航空航天等领域。