多晶硅纳米膜压阻式压力传感器研究

压阻式传感器是市场占有量最大、应用最广泛的传感器之一，但存在着温漂大等不足，严重制约了它的使用和进一步发展。我们研究发现高掺杂多晶硅纳米膜具有大的应变系数和低的温度系数，用于压阻式传感器中可在保证原有灵敏度的情况下显著降低其温漂。本课题将通过对多晶硅纳米膜制作工艺、纳米膜电阻压阻特性与温度特性等的实验研究，建立并完善多晶硅纳米膜隧道压阻效应模型，并对其进行模拟与实验验证，解决现有多晶硅压阻模型在纳米尺度及高掺杂浓度下的局限性。突破多晶硅纳米膜压敏电阻制作、引线与钝化、封装等关键技术，研制出多晶硅纳米膜压阻式压力传感器样品以验证多晶硅纳米膜应用于压阻式传感器的可行性及优势。该课题在纳米膜压力传感器、纳米压阻理论、纳米膜敏感电阻制备等方面将形成一系列创新性成果。其研究成果无论对压阻理论完善或压阻式传感器的研制方面均有指导意义，项目的开展具有重要的理论意义与应用价值。