MEMS微流体测控系统
基本信息
批准号：60276038
项目类别：面上项目
资助金额：23.00
负责人：刘晓为
学科分类：
依托单位：哈尔滨工业大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王蔚,蓝慕杰,王喜莲,陶庆锋,霍明学
关键词：
测控系统微机电系统微流体
结项摘要
通过计算机模拟仿真、优化设计及微机械加工技术研制一种基于MEMS的集成微流体测量控制系统，实现多种传感器和微泵、微通道等我种微执行元器件的单片集成化，系统具有微流体温度、流量等的测量及对于微流体的控制能力，可用于微飞行器燃料和推进控制，纳、皮卫星环境热控，以及IC芯片系统冷却、微化学分析等领域中，国陡上属创新性研究工作。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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