纳米尺度界面断裂力学的分子动力学研究
基本信息
批准号：10372107
项目类别：面上项目
资助金额：28.00
负责人：汤奇恒
学科分类：
依托单位：中国科学院力学研究所
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：魏征,刘磊
关键词：
Si/SiO2界面裂纹纳米尺度分子动力学
结项摘要
在纳米尺度，选择Si/SiO2界面为研究对象。Si是基底，SiO2为Si基底面上的纳米尺度小岛。Si是半导体材料，SiO2是绝缘材料，被广泛应用于微电子器件中。应用分子动力学方法模拟Si/SiO2界面断裂，观察微裂纹，空洞和界面位错形核和演化，与原子操纵的实验结果比较。增进对纳米尺度界面裂纹的理解，建立外载荷与界面断裂韧性和强度的关系，为材料设计和应用提供有价值的参考数据。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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