曲面衍射器件作为光学高新技术具有广泛应用前景,激光直写是其制作的重要手段。由于曲面会使调焦光束产生偏转,因此基于平面的激光直写自动对焦系统将失效。通过光学头与基片的姿态跟踪可以保证对焦光束与基片的垂直,但这样会导致结构与控制的过度复杂,此方案可称为变姿态曲面调焦。本研究则提出恒姿态曲面对焦方案,即光学头与基片在整个对焦过程中保持原有姿态不变,获得光学系统简化下更适于基片面形快速变化时的跟踪写入。恒姿态调焦方案将引入"共焦调焦方案"作为曲面调焦的基本原理。为了提取足够的离焦信息,即根据探测信号同时取得离焦量和离焦方向,本研究引入"针孔振子",即在探测器侧的成像物镜焦面处放置受纵向调制的针孔。控制系统通过采集调制信号和探测信号,应用锁相跟踪技术完成曲面自动对焦,实现亚微米曲面衍射器件的加工。
{{i.achievement_title}}
数据更新时间:2023-05-31
基于被动变阻尼装置高层结构风振控制效果对比分析
具有随机多跳时变时延的多航天器协同编队姿态一致性
基于速变LOS的无人船反步自适应路径跟踪控制
WMTL-代数中的蕴涵滤子及其应用
激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响
多路并行激光直写光栅装置
可调焦激光雷达接收芯片构架及关键技术研究
SiO2/Si光波导紫外激光直写技术
涡旋光诱导不透明亚波长激光直写