曲面激光直写的恒姿态调焦研究

基本信息
批准号:60678037
项目类别:面上项目
资助金额:28.00
负责人:梁宜勇
学科分类:
依托单位:浙江大学
批准年份:2006
结题年份:2009
起止时间:2007-01-01 - 2009-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:杨国光,牛爽,张巍,田丰,罗剑波
关键词:
锁相跟踪共焦调焦针孔振子恒姿态曲面对焦
结项摘要

曲面衍射器件作为光学高新技术具有广泛应用前景,激光直写是其制作的重要手段。由于曲面会使调焦光束产生偏转,因此基于平面的激光直写自动对焦系统将失效。通过光学头与基片的姿态跟踪可以保证对焦光束与基片的垂直,但这样会导致结构与控制的过度复杂,此方案可称为变姿态曲面调焦。本研究则提出恒姿态曲面对焦方案,即光学头与基片在整个对焦过程中保持原有姿态不变,获得光学系统简化下更适于基片面形快速变化时的跟踪写入。恒姿态调焦方案将引入"共焦调焦方案"作为曲面调焦的基本原理。为了提取足够的离焦信息,即根据探测信号同时取得离焦量和离焦方向,本研究引入"针孔振子",即在探测器侧的成像物镜焦面处放置受纵向调制的针孔。控制系统通过采集调制信号和探测信号,应用锁相跟踪技术完成曲面自动对焦,实现亚微米曲面衍射器件的加工。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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