原位半导体纳米结构综合测试系统研制

本专项计划开展原位半导体纳米结构综合表征系统研发。主要研发内容有：1、具有原子分辨率、独立移动和扫描的多探针扫描显微部件；2、集成于其中一根探针、能移近受电子束激发位置的荧光收集聚光透镜和高纯石英传输光纤等部件；3、具有热屏蔽、能冷却至液氦温度、容纳多探针扫描、电子枪聚焦距离短等样品台；4、防震、稳定性能好的厚壁超高真空室。预计将率先建立工作于超高真空、低温下的高空间分辨率阴极荧光谱线及其谱像、电流和电压、表面结构等性质综合测试仪器。实现荧光的高效收集，以降低电子束的加速电压、提高荧光谱像的空间分辨率；原位半导体纳米结构的光学、电学、表面等特性的综合测量。通过该系统研发，有望深入了解半导体纳米结构相关特性的物理起源，促进半导体纳米结构的研究。