基于磁场力驱动对流效应的微细电铸技术

微细电铸技术是制造金属微尺度特征产品的主要实现技术之一，传质受限问题仍然是制约它高水平发展的主要障碍。本项目针对传质受限难题，创新引入具有奇特功效的磁场力驱动对流传质技术，深入系统地研究该技术在微尺度空间环境中的作用机制及其对微细电铸的电沉积行为、过程与工艺质量的影响，构建基于磁致对流传质效应的微细电铸技术的基础理论与技术体系。重点解决微尺度空间内磁致对流效应的产生、发展与激励机制、磁致对流传质的作用机制、磁致对流传质条件下电解质特性参数（如离子浓度、电导率等）与电沉积工艺特性指标（沉积速度、极限电流密度等）的变化规律、微细电铸件的形貌特征、组织结构与理化性能特点等基础理论问题，建立磁微细电铸技术的基础理论体系；着力突破微尺度空间环境下磁电化学反应特征信号提取与检测、磁微细电铸实验样机研制等关键技术，破解传质受限难题，进而推动我国金属微尺度产品制造业、高新技术产品研制技术的更高水平发展。