精密、微细电铸技术研究

本课题对精密微细电铸技术的机理和应用进行了研究。重点针对精微电铸技术中存在关键问题：微变形、表面粗糙度恶化、组织疏松进行了深入的理论分析和试验研究。采用了变波形脉冲电流、分析阶段参数优化、组合式电铸等一系列新措施和设想，使沉积层质量得到明显改善，精密微细电铸应用范围得以扩大。研究了某些精密微细零件，如异型微波器件、航空微型滤网的精密微细电铸工艺。研制了脉冲精密微细电铸装置系统，包括脉冲电源、过程监测控制、可移动电极单元、供液过滤单元等。该系统性能稳定、工艺效果良好。本研究在精密微细电铸机理、技术设备方面的有创新之处。在国内外学术刊物、会议上发表论文14篇。研究成果助于提高精密微细电铸整体水平。