微机电系统中的运动检测技术

微机电系统在国防、高科技、生命科学、通信、智能技术等中有广泛应用。微机电系统的检测技术已构成制约其发展的一个因素。本项目研究利用激光多普勒技术测量微型振子，马达等微机电器件的瞬时速度、加速度、转速、角加速度等运动参数的方法，研制高精度、动态、一体化的测量装置及其标定、精度检定技术。总结出微机电系统检测技术的一些规律。