纳米级立体图象复制刻蚀新技术的刻蚀剂的研究
基本信息
批准号：29383004
项目类别：专项基金项目
资助金额：15.00
负责人：田昭武
学科分类：
依托单位：厦门大学
批准年份：1993
结题年份：1996
起止时间：1994-01-01 - 1996-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：田昭武,林仲华,卓向东,穆纪千,林华水,李春增,苏连永
关键词：
材料刻蚀纳米加工
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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