化合物半导体多层膜、超晶格结构完美性的研究
基本信息
结项摘要
应射X线双晶衍射、镜面反射和温散射等技术，研究化合物半导体超晶格的结构参数、微结构和缺陷。（1）发展了X射线统计动力学衍射理论，并推广到外延多层膜内随机分布微缺陷的研究。实际应用证实了理论的正确性和通用性；（2）根据形变理论，导出应变驰豫超晶格X射线双晶摇摆曲线的动力学理论模拟方法。提出了确定超晶格中应变驰豫机制的新方法并得到实验的证实。（3）应用X射线衍射动力学衍射理论，建立了适用范围广、功能全的双晶衍射摇摆曲线计算机模拟程序。并应用于不同生长条件、不同结构参数的各种半导体化合物超晶格的研究。（4）推导出X射线统计动力学衍射方程，研究了硅单晶氧沉淀尺寸和浓度与热处理关系，拓宽了截面形貌技术的应用范围。
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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