超薄SOI集成电路基材制备和研究
基本信息
批准号：69246003
项目类别：专项基金项目
资助金额：4.00
负责人：柳承恩
学科分类：
依托单位：南京大学
批准年份：1992
结题年份：1994
起止时间：1993-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：鲍希茂,郑祥钦,吴义强,华雪梅,张骏
关键词：
***
结项摘要
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项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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