化合物软X射线多层膜的制备及其结构稳定性研究
基本信息
批准号：59801006
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：10.00
负责人：白海力
学科分类：
依托单位：天津大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王存达,吴萍,王怡,苏初榜
关键词：
化合物软X射线多层膜结构稳定性
结项摘要
引入化合物软X射线多层膜概念，使用智能控制双对向靶薄膜溅射仪和复合靶反应制膜技术票父咧柿康模哂辛己媒峁刮榷ㄐ缘幕衔锶鞽射线多层膜，研究其结构稳定性提高的物理机制，为高热稳定性的软X射线多层膜的研制与开发提供理论和实验依据，推动软X射线多层膜在宇航，军工等高科技研究领域的广泛应用。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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