化合物软X射线多层膜的制备及其结构稳定性研究

引入化合物软X射线多层膜概念，使用智能控制双对向靶薄膜溅射仪和复合靶反应制膜技术票父咧柿康模哂辛己媒峁刮榷ㄐ缘幕衔锶鞽射线多层膜，研究其结构稳定性提高的物理机制，为高热稳定性的软X射线多层膜的研制与开发提供理论和实验依据，推动软X射线多层膜在宇航，军工等高科技研究领域的广泛应用。