周期性多层膜光栅的软X射线衍射物理的研究

本项目对软X射线多层膜的微结构和多层膜光栅的衍射特性进行了研究。实验得出溅射法制备的Mo/Si多层膜中Mo、Si层间的界面不是平滑尖锐的，而是有Mo/Si混和的非晶界面层。因而，考虑软X射线多层膜光栅的衍射特性时采用X射线衍射运动学是比较合适的。用这理论得出了软X射线多层膜光栅的散射强度公式，进而导出了衍射峰存在的条件为要求波长、掠入射角与d（光栅常数）、D（多层膜周期）之间满足于不同于Brgg定律的一关系式。与通常的光栅不同，它要求波长、入射角与选择的衍射级次之间有确定的关系，并能接需要将衍射能量集中在非零的某一级次上。它又保持了多层膜的高反射率和光栅的高分辨率。在同步辐射实验室的实验结果与理论相符合。