研究了用Ce(+)离子注入硅,退火后形成的射程末端位错环作为点缺陷探测器的特性。用透射电镜平面成象确定位错环捕获点缺陷的总量。实验表明800℃30分钟退火可形成稳定的位错环埋层,并且有温度稳定性。用此法定量测量了低能B注入引入的间隙净通量。借助二次离子质谱测量扩散程度,研究了B标记埋层用于点缺陷探测的性能。用上述两种探测方法,通过对间隙通量的性能。用上述两种探测方法,通过对间隙通量的监测,证实了不同注入阶段引入的损伤的退火时,哪一个损伤处首先形成二次缺陷,它们将从另一损伤中吸附Si间隙,并影响那里二次缺陷的形成。此外还分析了预非晶中二次缺陷与点缺陷互作用机制。以上工作将使人们更好地了解器件制作中点缺陷的运动规律,并指导离子束缺陷工程的设计。
{{i.achievement_title}}
数据更新时间:2023-05-31
农超对接模式中利益分配问题研究
基于细粒度词表示的命名实体识别研究
水氮耦合及种植密度对绿洲灌区玉米光合作用和干物质积累特征的调控效应
空气电晕放电发展过程的特征发射光谱分析与放电识别
基于图卷积网络的归纳式微博谣言检测新方法
禽源空肠弯曲菌对人致病的毒力基因贮库研究
空肠弯曲菌致病因素和致病机理的研究.
空肠弯曲菌群体遗传特征及菌型传播动力模型分析
饲用抗菌肽杀灭畜禽腹泻致病菌G-的时空关系及其机制研究