研究了用Ce(+)离子注入硅,退火后形成的射程末端位错环作为点缺陷探测器的特性。用透射电镜平面成象确定位错环捕获点缺陷的总量。实验表明800℃30分钟退火可形成稳定的位错环埋层,并且有温度稳定性。用此法定量测量了低能B注入引入的间隙净通量。借助二次离子质谱测量扩散程度,研究了B标记埋层用于点缺陷探测的性能。用上述两种探测方法,通过对间隙通量的性能。用上述两种探测方法,通过对间隙通量的监测,证实了不同注入阶段引入的损伤的退火时,哪一个损伤处首先形成二次缺陷,它们将从另一损伤中吸附Si间隙,并影响那里二次缺陷的形成。此外还分析了预非晶中二次缺陷与点缺陷互作用机制。以上工作将使人们更好地了解器件制作中点缺陷的运动规律,并指导离子束缺陷工程的设计。
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数据更新时间:2023-05-31
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