强真空紫外空心阴极光源及其对半导体表面处理过程研究
基本信息
批准号：68978008
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：杜元成
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：1989
结题年份：1992
起止时间：1990-06-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：孙迭虎,李富铭,王海,胡谊梅
关键词：
真空紫外光光激发和光解离空心阴极
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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