微空心阴极放电及其应用的研究
基本信息
批准号：50007003
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：19.00
负责人：王新兵
学科分类：
依托单位：华中科技大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：陈清明,赖建军,晏良骏,谢明杰,杨光,季杭峰
关键词：
高气压气体放电微空心阴极放电
结项摘要
微空心阴极放电是微小孔电极间的高气压空心阴极放电，可广泛用于表面处理、薄膜沉积、气体污染物的处理及气体激光中。本项目采用薄膜沉积和激光打孔技术形成微空心阴极放电结构，在理论和实验上研究其放电特性和等离子体特性，探索微空心阴极放电在平板准分子光源的应用。利用微空心阴极放电作为电子发射级，研究其自持的高气压辉光放电特性。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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