微空心阴极放电及其应用的研究

微空心阴极放电是微小孔电极间的高气压空心阴极放电，可广泛用于表面处理、薄膜沉积、气体污染物的处理及气体激光中。本项目采用薄膜沉积和激光打孔技术形成微空心阴极放电结构，在理论和实验上研究其放电特性和等离子体特性，探索微空心阴极放电在平板准分子光源的应用。利用微空心阴极放电作为电子发射级，研究其自持的高气压辉光放电特性。