双栅肖特基隧道晶体管研究

本课题在对基于隧穿的固态量子器件工作机理深入研究的基础上，提出可集成的新型双栅肖特基隧道晶体管结构、工作模式及相应的电路单元；开发模拟量子化效应和隧穿效应的模块，为固态量子器件的研究提供工具；研究器件参数及工艺参数对双栅肖特基隧道晶体管特性的影响，实现两种工作模式下的双栅肖特基隧道晶体管的优化设计；制备性能良好的、可工作于室温条件下的新型双栅肖特基隧道晶体管和简单的逻辑电路；为发展适用于未来SOC的超低功耗、超高频率、多功能的纳米器件奠定基础。