微结构固体界面导热过程的分子动力学研究
基本信息
批准号：50376025
项目类别：面上项目
资助金额：26.00
负责人：梁新刚
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：孙麟,韩茂华,任效明
关键词：
声子散射。分子动力学微观接触热阻微结构
结项摘要
微纳米结构是微电子及MEMS等技术中常见结构。对于体材料，界面的不平整产生的接触热阻对固体的导热产生极大的影响；而对于微电子技术制造的微纳米结构，界面间没有因粗糙度产生的接触热阻，热阻主要来自于界面对声子的散射。由于结构尺度接近或小于声子平均自由程，固体间界面对声子的散射主导了微纳米结构导热的过程，即微观接触热阻，对决定热导率起到了主要作用。本项目利用分子动力学方法研究声子在微纳米结构界面的传递和
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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