微型二维光栅纳米测量系统及关键技术研究

纳米测量仪是纳米科技的重要组成部分。目前在几十个毫米的测量范围内达到纳米测量精度的设备主要是激光干涉仪、光栅尺等一维测量测量仪器。本研究在成功研制一维衍射光栅纳米测量仪的基础上，提出二维衍射光栅的纳米测量系统及其关键技术的研究，基于单二维衍射光栅单半导体光源构建微型平面二维纳米位移测量系统，研究二维光栅应用在纳米平面位移测量中的关键理论和技术问题，包括二维光栅平面纳米位移测量理论、高精度测量光路设计、信号处理及细分技术、纳米精度测量标定以及系统误差修正问题。二维光栅纳米测量系统集成干涉测量高精度与光栅测量的抗干扰特点，且易于实现微型化结构。目前国内还没有看到有关二维光栅纳米测量系统的产品出现，该研究成果旨在为产品开发及二维光栅测量技术实用化奠定基础，为我国超精密先进制造、精密测控以及微机电系统等相关领域提供高精度的测量设备。