微球体表面缺陷超精密修饰加工机理及相关技术基础

本课题基于扫描探针理论，研究微球体表面缺陷超精密修饰加工机理及相关技术。建立微球体表面缺陷修饰加工与测量系统，研究微球体探针测量机理，建立和实验标定探针测量模型，研究微球体缺陷探针修饰加工机理与工艺及微球体表面特征评定理论，提供微球体制造工艺评定参数及加工检测一体化技术，为制造高精度微球体产品提供科学的研究方法与手段。