微波MEMS分形共平面可调滤波技术研究

本申请将在研究分形可重构滤波器设计，慢波共平面传输线，多触点MEMS开关的基础上探索微波段的MEMS分形可重构共平面集成可调滤波器设计原理和制作技术。该类滤波器将具有很宽的调谐范围、低插损、低失真度、低功耗、微型化的特点，对于新一代多频段、宽带无线通信系统收发前端将有重要的研究和应用价值。本申请将重点研究分布式及增强型慢波CPW传输线的结构设计，分布式电容和电感的等效电路模型建模，多频段、宽带分形理论和可重构技术及其在滤波器设计中的应用，分形自相似结构单元模拟仿真、多触点开关设计与制作工艺，器件微波参数在线测试。最终完成具有一定滤波性能的Ku波段和K波段小型化微波MEMS低通和带通滤波器设计，其通带调谐范围大于100％，并进行工艺流片试验，提供芯片样品和一套研究技术报告。