微机械微波型元件与电路研究
基本信息
批准号：69876012
项目类别：面上项目
资助金额：14.00
负责人：赖宗声
学科分类：
依托单位：华东师范大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：沈秀英,董兴其,姚萌,石艳玲,邹平松,景圳
关键词：
CMOS微波元件无掩膜刻蚀微电子机械系统
结项摘要
研究微机械微波元件与电路的ＣＡＤ设计、有限元分析和各向异性与各向同性组合的硅刻蚀工艺。用与ＣＭＯＳ兼容的微机械加工技术研制１０ＧＨＺ以上带宽、低损耗、低色散的微型共面波导，悬浮微结构的nF级电感和pF级电容，一定Ｑ值的微波谐振器或滤波器，完成一种微波微电子机械系统设计。该研究在无线通信、微波测量等领域有广泛的应用前景。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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