MEMS可调滤波器基础研究

MEMS可调滤波器具有损耗小、调节能力强、可集成性好、调节功耗低、线性度高、结构简单等优点，广泛应用于雷达和跟踪式接收机等通信领域中。本项目基于MEMS开关提出一种新型MEMS可调滤波器，可以实现高频下低损耗、大调节范围、准连续的数字式调节。通过三维电磁场、电路网络仿真以及力学模拟软件对微波MEMS开关、开关网络、可调滤波器的电磁场及微波性能、机械性能进行模拟与仿真，详细了解其内部的电磁场的分布与变化规律，并充分认识开关的机械性能以及力电耦合性能。重点研究结构应力对悬空结构的翘曲、机械性能及其进而对开关、开关网络和可调滤波器性能所产生的影响。研究基于体硅工艺的MEMS可调滤波器的加工方法。利用键合、深刻蚀与自停止腐蚀等MEMS加工方法，最终实现低功耗、低损耗、高线性度、大调节范围、准连续数字式MEMS可调滤波器。根据MEMS可调微波器件的特点，研究其相应的力学和微波特性测试原理和方法。