PMMA反应离子深刻蚀加工及其侧壁钝化技术的研究

高深宽比加工工艺是微机械加工领域内研究重点之一。本项目尝试用反应离子深刻蚀技术队聚甲基丙酸进行深刻蚀，希望能获得可做为电铸模具的高深宽比微结构，并对其刻蚀机理进行研究。在此基础上，利用反应离子深刻蚀技术，对有机玻璃薄片进行深刻蚀，希望可以直接获得塑料三维微结构，以此探索道一种经济实用的高深宽比微加工工艺。