PMMA反应离子深刻蚀加工及其侧壁钝化技术的研究
基本信息
批准号：50075055
项目类别：面上项目
资助金额：16.00
负责人：杨春生
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：俞爱斌,王莉,郭晓芸,禹金强
关键词：
反应离子刻蚀高深宽比聚甲基丙酸甲脂
结项摘要
高深宽比加工工艺是微机械加工领域内研究重点之一。本项目尝试用反应离子深刻蚀技术队聚甲基丙酸进行深刻蚀，希望能获得可做为电铸模具的高深宽比微结构，并对其刻蚀机理进行研究。在此基础上，利用反应离子深刻蚀技术，对有机玻璃薄片进行深刻蚀，希望可以直接获得塑料三维微结构，以此探索道一种经济实用的高深宽比微加工工艺。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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