TiN/Si3N4纳米复合薄膜及其深孔狭缝表面附着强度的研究
基本信息
批准号：50271053
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：马胜利
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：方其先,贺林,于光,赵军荣,马大衍,王昕,马青松
关键词：
纳米复合薄膜残余应力附着强度
结项摘要
着眼于TiSiN薄膜微观组织结构及其优化设计，掌握脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积制备ne_TiN/α-Si3N4纳米复合薄膜的原理和技术关键。探讨外表面和深孔狭缝内表面镀膜的组织性能差异及其制约机制。通过模拟样品和实物样品的对比分析，重点考察内表面镀膜的均匀性和附着强度，据此提出强韧性与附着性完美结合的TiSiN硬质薄膜类型及其应用于复杂型腔的示范模型。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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