(TiAl)N/Si3N4纳米复合超硬薄膜的稳定性研究
基本信息
批准号：50371067
项目类别：面上项目
资助金额：28.00
负责人：马胜利
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：StanVeprek,马大衍,王昕,马青松,赵军荣,JanProhaska,PavlaKarvankova
关键词：
微观结构热稳定性力学性能纳米复合薄膜
结项摘要
基于纳米复合超硬薄膜微观结构设计思想及其优化方案，掌握脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积制备nc-(TiAl)N/α-Si3N4纳米复合薄膜的原理和技术关键。重点考察纳米复合超硬薄膜材料在高温下的纳米尺度微观组织转变及其对力学性能的影响，尝试描述其转变的热力学与动力学过程，据此提出纳米复合超硬薄膜的热稳定性机制并为工业应用提供理论指导。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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