复合多晶硅栅射频MOSFET采用栅工程的概念,通过对栅的设计,得到特性优良的新结构射频MOSFET。所设计的栅有S-gate 和D-gate 两块并列组成,S-gate用高功函数p多晶硅,D-gate用低功函数n多晶硅。由于靠源端的阈值电压稍高于漏端的阈值电压,沟道中产生阶梯分布电势,电场沿沟道有一个峰值,载流子可以得到更大的漂移速度,其结果是提高了驱动电流、跨导和截止频率。同时又减小了漏漂移区末
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数据更新时间:2023-05-31
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