多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础研究
基本信息
批准号：90607002
项目类别：重大研究计划
资助金额：180.00
负责人：黄庆安
学科分类：
依托单位：东南大学
批准年份：2006
结题年份：2008
起止时间：2006-07-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：孙宝元,秦明,李伟华,徐征,崔岩,黄见秋,丁高飞,李震,张忠华
关键词：
热微传感器系统级设计方法集成传感微系统磁微力微传感器
结项摘要
微电子技术的发展体现在两个方面：一方面，微电子器件向更小尺度发展，缩小器件尺寸、提高集成度，可以更快、更好完成信息处理功能；另一方面，集成电路正在向集成系统发展，将更多的功能集成在同一芯片上可完成信息获取与执行功能。本项目以气象环境检测为未来应用对象，将温度、湿度、气压、风速、风向传感器、电子罗盘及其预处理电路集成在芯片上，从而完成气象站系统功能。项目研究在微尺度下化学（湿度）、热、力、磁信号转换
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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