多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础研究

基本信息
批准号:90607002
项目类别:重大研究计划
资助金额:180.00
负责人:黄庆安
学科分类:
依托单位:东南大学
批准年份:2006
结题年份:2008
起止时间:2006-07-01 - 2008-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:孙宝元,秦明,李伟华,徐征,崔岩,黄见秋,丁高飞,李震,张忠华
关键词:
热微传感器系统级设计方法集成传感微系统磁微力微传感器
结项摘要

微电子技术的发展体现在两个方面:一方面,微电子器件向更小尺度发展,缩小器件尺寸、提高集成度,可以更快、更好完成信息处理功能;另一方面,集成电路正在向集成系统发展,将更多的功能集成在同一芯片上可完成信息获取与执行功能。本项目以气象环境检测为未来应用对象,将温度、湿度、气压、风速、风向传感器、电子罗盘及其预处理电路集成在芯片上,从而完成气象站系统功能。项目研究在微尺度下化学(湿度)、热、力、磁信号转换

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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