表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践

采用数字电压驱动的微执行器及机械结构，可以将数字电压信号转换成位移或力等模拟输出信号。这种转换器容易与现有集成电路（IC）接口，并可以对输出进行精确控制。因而在需要精密控制的应用领域中有重要意义。本项目提出并实现一种单个热执行器，该种执行器结构简单，可在IC电压下工作；提出一种机械结构完成数/模转换。输出的量是位移或力。建⒅葱衅骱突到峁棺坏睦砺鄯匠蹋枚嗑Ч璞砻嫖⒒导庸ぜ际酰票赋鍪?模转换器。详细研究该类数/模转换器的特性。