磁过滤阴极弧沉积高质量薄膜及相关物理研究
基本信息
批准号：10074022
项目类别：面上项目
资助金额：19.00
负责人：阎鹏勋
学科分类：
依托单位：兰州大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：彭栋梁,吴现成,谢亮,宋启梅,余画洋,王君,代富平
关键词：
大粒子过滤阴极弧沉积高质量薄膜
结项摘要
磁过滤阴极弧放电薄膜沉积方法是目前国际上最新得低温等离子体制备薄膜技术，可在低温下制备出高质量薄膜材料。利用我们设计的三维变形准S形状磁螺旋线管及管中的特别构造考说粢跫〔牡壤胱犹逯写罂帕＜爸行粤Ｗ樱隽粝麓苛Ｗ佑糜诔粱∧ぁ＠酶眉际踅谑椅孪鲁粱龇蔷в仓侍寄ぃ趸驯∧ぜ敖鸶帐灞∧ぁ
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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